一、一種用于機(jī)械工程領(lǐng)域的計(jì)量?jī)x器，主要功能測(cè)量并檢驗(yàn)光束線(xiàn)機(jī)械部件的直線(xiàn)與角等線(xiàn)性位移量的精度、分辨率和重復(fù)精度；測(cè)量并檢驗(yàn)光束線(xiàn)機(jī)械部件的直線(xiàn)度、平行度等形狀和定向公差。
 

　　二、技術(shù)指標(biāo)：
 

　　1、直線(xiàn)位移測(cè)量：測(cè)量范圍：0～40米測(cè)量精度：±1.5ppm(20°±0.5°)；±1.7ppm(15～25°)；±3.0ppm(0～40°)分辨率：10nm(標(biāo)準(zhǔn)值)；1nm(均值)最高測(cè)量速度：±0.7m/s；
 

　　2、角位移測(cè)量：測(cè)量范圍：±10°(繞光學(xué)基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn))；測(cè)量精度：±0.2%測(cè)量值；
 

　　3、平面度測(cè)量測(cè)量范圍：0～15m測(cè)量精度：±0.2%測(cè)量值。
 

　　三、原理介紹：動(dòng)態(tài)校準(zhǔn)儀(高配)是基于質(zhì)量流量計(jì)控制流量配比稀釋鋼瓶標(biāo)氣nmol/mol～μmol/mol(ppb～ppm)級(jí)的標(biāo)氣,基本單元為兩個(gè)高精確度的質(zhì)量流量控制器,臭氧發(fā)生器、臭氧光度計(jì)。光度計(jì)測(cè)量的基本原理是Beer-Lambert關(guān)系式,在給定溫度、壓力下,一定光程內(nèi)一定濃度氣體對(duì)特定波長(zhǎng)的光強(qiáng)的吸收。
 

　　四、應(yīng)用：動(dòng)態(tài)氣體校準(zhǔn)儀可以提供濃度的各種氣體。這些不同濃度的氣體被用來(lái)對(duì)各種測(cè)量?jī)x器進(jìn)行校準(zhǔn)，包括校零，精密度檢查，單點(diǎn)檢查，審核及多點(diǎn)檢查。所有1046的組件(包括質(zhì)量流量控制器，O3發(fā)生器，電源，電磁閥)一直以來(lái)都被用于儀器校準(zhǔn)，并以其準(zhǔn)確性和可靠性而稱(chēng)。